Трубчатые CVD печи серии SAFTherm STGS 1200

Cерия KLS-M. Камерные печи с керамическим муфелем до 1150/1300°С
Рис. 1
Трубчатые CVD печи серии STGS
Трубчатые CVD печи серии 1200 предназначены для проведения процессов химического осаждения тонких пленок материалов из газовой фазы. Печи применяются в лабораториях и на производственных участках. Изготовлены из высококачественных материалов и имеют высокую стабильность поддержания температуры. Рабочая труба выполнена из кварца.

Подача газа для химического осаждения управляется контроллером массового расхода. Печь оснащена тремя контроллерами массового расхода и модулем смешивания реакционных газов. Управления параметрами осуществляется оператором с сенсорной панели.

Измерение вакуума выполняется цифровым датчиком вакуума с индикационной панелью. Для удобства работы датчик встроен в панель управления.

Печи серии STGS управляются японским интеллектуальным PID-контроллером Shimaden со встроенным интерфейсом RS-485 и USB для подключения к ПК. Они позволяют реализовать удаленное управление оборудованием и мониторинг технологических процессов. Оператор может сохранять и экспортировать результаты испытаний.

Все печи сертифицированы по европейскому стандарту качества CE.

Технологические преимущества:

  • Соответствие международным стандартам

Изоляция выполнена из высококачественного волокнистого алюмооксидного материала, формованного вакуумным методом, с низкой удельной теплоёмкостью. Нет тепловых выбросов и выделения вредных летучих веществ при работе с высокими температурами. Экологичность.

  • Стабильная работа и долгий срок эксплуатации нагревательных элементов

Высококачественные проволочные нагревательные элементы стабильны в работе и имеют долгий срок эксплуатации.

  • Удобный контроль и программирование температурного профиля

Интеллектуальный японский PID-контроллер температуры Shimaden с функцией программирования. Настройка до 32 сегментов температурного профиля.

  • Безопасность изделий и оператора

Качественные электрические компоненты – SCHNEIDER, Франция. Автоматическая сигнализация при превышении заданной температуры для защиты изделий от перегрева.

  • Индивидуальное исполнение

Опциональное оснащение и габариты по желанию заказчика

Технические характеристики:
                        Необходима дополнительная информация?
                        Свяжитесь с нами и мы оперативно Вам ответим:
                        8 (499) 3-722-522
                        info@partitech.ru
                        121467, г. Москва
                        ул. Молдавская д. 5
                        Наша политика конфиденциальности разработана в соответствии с требованиями Федерального закона от 27.07.2006 No152-ФЗ «О персональных данных» и действует в отношении всей информации, которую компания может получить о Пользователе во время использования наших интернет-сайтов.